Diffraction optical component and linear encoder

回折光学部品及びリニアエンコーダ

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a diffraction optical component capable of exhibiting desired performance as a diffraction element by suppressing reflecting light or scattered light from the surface and preventing foreign substances from adhering to a phase diffraction region, and to provide a linear encoder having the diffraction optical component.SOLUTION: The diffraction optical component is formed of transparent material containing a phase diffraction region, the phase diffraction region being made by cyclically arranging refraction-index changing regions with different refraction indexes from the refraction index of the transparent material, the diffraction optical component having an entrance plane and an exit plane, and at least one of the entrance plane and the exit plane being a smooth surface.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】表面からの反射光や散乱光を抑えることができ、また、位相回折領域への異物の付着を防止することができ、これにより、回折素子としての所望の性能を発揮することのできる回折光学部品、及び、これを備えるリニアエンコーダを提供する。 【解決手段】透明材料の内部に位相回折領域が形成された回折光学部品であって、位相回折領域は、透明材料の屈折率と異なる屈折率を有する屈折率変化領域を周期的に配列することによって形成され、回折光学部品の入射面及び出射面の少なくともいずれか1面は平滑な面で構成されている。 【選択図】図1
【課題】表面からの反射光や散乱光を抑えることができ、また、位相回折領域への異物の付着を防止することができ、これにより、回折素子としての所望の性能を発揮することのできる回折光学部品、及び、これを備えるリニアエンコーダを提供する。【解決手段】透明材料の内部に位相回折領域が形成された回折光学部品であって、位相回折領域は、透明材料の屈折率と異なる屈折率を有する屈折率変化領域を周期的に配列することによって形成され、回折光学部品の入射面及び出射面の少なくともいずれか1面は平滑な面で構成されている。【選択図】図1

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