Method of achieving scanning and transmission type electron microscopical image and scanning and transmission type electron microscope

走査透過型電子顕微鏡像の取得方法及び走査透過型電子顕微鏡

Abstract

【課題】正確に実験像の補正のなされた走査透過型電子顕微鏡像を得ることのできる走査透過型電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】電子源より放出された電子線を加速し、試料に前記電子線の焦点が位置するように照射して、試料を透過また散乱された電子線を検出することにより、明視野像を取得する明視野検出器と、試料におけるエネルギースペクトルを取得する電子エネルギー損失分光器とを備え、試料を設置してエネルギースペクトルを取得して弾性散乱像及び非弾性散乱像を得て弾性散乱像及び非弾性散乱像の平均強度を算出し、平均強度の和に対する弾性散乱像の平均強度の比率を算出し、明視野像を取得して弾性散乱像の平均強度の比率を掛ける画像演算を行う。 【選択図】図8
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanning and transmission type electron microscope capable of achieving a scanning and transmission type electron microscopic image on which correction of an experimental image has been accurately performed.SOLUTION: A scanning and transmission type electron microscope has: a bright field detector for accelerating an electron beam discharged from an electron source, irradiating the electron beam so that the focal point of the electron beam is located at a sample, and detects an electron beam transmitted through or scattered from the sample to achieve a bright field image; and an electron energy loss spectroscope for achieving an energy spectrum of the sample. The sample is set up, an energy spectrum is achieved, an elastic scattering image and a non-elastic scattering image are achieved, and the average intensities of the elastic scattering image and the non-elastic scattering image are calculated, the rate of the average intensity of the elastic scattering image to the sum of the average intensities is calculated, and a bright field image is achieved and multiplied by the rate of the average intensity of the elastic scattering image, thereby performing an image operation.SELECTED DRAWING: Figure 8
【課題】正確に実験像の補正のなされた走査透過型電子顕微鏡像を得ることのできる走査透過型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子源より放出された電子線を加速し、試料に前記電子線の焦点が位置するように照射して、試料を透過また散乱された電子線を検出することにより、明視野像を取得する明視野検出器と、試料におけるエネルギースペクトルを取得する電子エネルギー損失分光器とを備え、試料を設置してエネルギースペクトルを取得して弾性散乱像及び非弾性散乱像を得て弾性散乱像及び非弾性散乱像の平均強度を算出し、平均強度の和に対する弾性散乱像の平均強度の比率を算出し、明視野像を取得して弾性散乱像の平均強度の比率を掛ける画像演算を行う。【選択図】図8

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